型號(hào)

MTS222

MTS223

行程（mm）

30

50

臺(tái)面尺寸（mm）

90×90

90×110

導(dǎo)軌

交叉滾珠導(dǎo)軌

螺桿導(dǎo)程（mm）

2.5

分辨率（mm）

0.0002

運(yùn)動(dòng)直線度（mm）

0.01

0.012

運(yùn)動(dòng)平面度（mm）

0.012

0.015

極限速度(mm/s)

20

重復(fù)定位精度（mm）

＜0.005

軸向間隙（mm）

＜0.03

步進(jìn)電機(jī)（1.8°）

42步進(jìn)電機(jī)

極限靜轉(zhuǎn)矩（Ncm）

20

中心負(fù)載（kg）

20

自重（kg）

2.2

2.8

備注

應(yīng)用真空環(huán)境中，需單獨(dú)訂貨